在精密鏡面火花機(jī)閉環(huán)與半閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，是用反饋信號和指令信號的比較結(jié)果來進(jìn)行速度和位置控制的。因此，為了提高精密鏡面火花機(jī)的加工精度，必須提高檢測元件和檢測系統(tǒng)的精度。由于設(shè)備種類、工作條件和檢測要求不同，因而使用的檢測元件和檢測方式也有很多種。下面我們簡單的說說精密鏡面火花機(jī)的幾種檢測方式以及有哪些檢測元件。
檢查方法：
1、數(shù)字式和模擬式：數(shù)字式是將被測量進(jìn)行單位量化后以數(shù)字的形式表示，其特點(diǎn)是被測量經(jīng)量化后轉(zhuǎn)換成了脈沖個數(shù)，便于數(shù)據(jù)處理。檢測精度取決于測量單位，檢測裝置比較簡單，脈沖信號抗干擾能力強(qiáng)。模擬式是將被測量用連續(xù)的變量來表示，其特點(diǎn)是被測量用連續(xù)的變量值來表示，可直接測量被測量，無須量化，在小量程內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)高精度測量。
2、增量式和式：增量式檢測只測位移的增量，每移動一個測量單位就發(fā)一個測量信號，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單。任何一個對中點(diǎn)都可以作為測量的起點(diǎn)，然而，在運(yùn)動過程中，一旦發(fā)生意外中斷，則不能再找到中斷前的位置，只能重新開始。式檢測則無此缺點(diǎn)，任何位置都由一固定值與之對應(yīng)，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
在精密鏡面火花機(jī)上常用的滑動導(dǎo)軌有液體靜壓導(dǎo)軌、氣體靜壓導(dǎo)軌和貼塑導(dǎo)軌。
1、液體靜壓導(dǎo)軌：在兩導(dǎo)軌工作面間通入具有一定壓力的潤滑油，形成靜壓油膜，使導(dǎo)軌工作面間處于純液態(tài)摩擦狀態(tài)，摩擦系數(shù)極低，多用于進(jìn)給運(yùn)動導(dǎo)軌。
2、貼塑導(dǎo)軌：在動導(dǎo)軌的摩擦表面上貼上一層由塑料等其它化學(xué)材料組成的塑料薄膜軟帶，其優(yōu)點(diǎn)是導(dǎo)軌面的摩擦系數(shù)低，且動靜摩擦系數(shù)接近，不易產(chǎn)生爬行現(xiàn)象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振動能力，可減小振動和噪聲；耐磨性、化學(xué)穩(wěn)定性、可加工性能好；工藝簡單、成本低。
3、氣體靜壓導(dǎo)軌：在兩導(dǎo)軌工作面間通入具有恒定壓力的氣體，使兩導(dǎo)軌面形成均勻分離，以得到高精度的運(yùn)動。這種導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，不易引起發(fā)熱變形，但會隨空氣壓力波動而使空氣膜發(fā)生變化，且承載能力小，故常用于負(fù)荷不大的場合。
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