用于鏡面電火花加工的電極材料一般是紫銅或者洛銅，洛銅的電極損耗更小。選用的銅材必須質(zhì)地均勻、含雜質(zhì)少，不良的銅材在鏡面加工中容易出現(xiàn)電極損耗大、表面起皺等異常，這個(gè)要高度重視。銅銅合金電極雖然可以實(shí)現(xiàn)極低的電極損耗，但鏡面效果欠佳。
鏡面電火花加工用的電極必須進(jìn)行精修拋光，不能有刀痕與缺陷，否則這些缺陷會(huì)復(fù)制到工件的加工表面，但并不是要求電極的表面要達(dá)到鏡面要求。
一般鏡面加工電極的尺寸縮放量取單側(cè)0.2～0.05 mm，精加工電極一般取單邊0.1mm，在加工面積比較小時(shí)可取小一些，仿形精度要求高時(shí)可取小一些，混粉加工時(shí)適當(dāng)取大一些。如果電極尺寸縮放量取得太小，加工速度會(huì)受到極大地降低。
精密的鏡面電火花加工要用使用多個(gè)電極。這就要求多個(gè)電極的一致性要好、制造精度要高，更換電極的重復(fù)裝夾、定位精度要高。一般采用高速銑制造電極、使用基準(zhǔn)球測(cè)量的定位方法、使用快速裝夾定位系統(tǒng)進(jìn)行重復(fù)定位等先進(jìn)工藝來(lái)滿(mǎn)足。